Назначение
Тугоплавкий силицид для микроэлектроники и высокотемпературной техники. Английское наименование Titanium silicide (TiSi2), номер CAS 12039-83-7, номер ЕС 234-904-3, формула Si2Ti. Синонимы: дисилицид титана, силицид титана (TiSi2), TII 07PB, TiSi2-O.
Где применяют
Главный потребитель — производство интегральных схем. В субмикронных технологиях дисилицид титана служит материалом первого уровня металлизации и межсоединений затворных структур и активных областей. Причина выбора — удельное сопротивление около 16 мкОм·см, тогда как у поликристаллического кремния оно составляет порядка 300 мкОм·см. Замена поликремниевого проводника на силицидный резко снижает сопротивление затвора и областей истока-стока, что напрямую влияет на быстродействие схемы. В технологии КМОП силициды тугоплавких металлов работают также контактными и барьерными слоями. Второе направление — жаростойкие материалы и покрытия, включая авиационные применения; третье — мишени для магнетронного напыления и нанесения тонких плёнок.
Самосовмещённое силицидирование
Метод, известный как salicide, экономит операцию литографии. Металлический титан осаждают на всю поверхность пластины и проводят отжиг. Силицид формируется избирательно — только там, где металл лежал на открытом кремнии; над диэлектриком реакции нет. Непрореагировавший титан затем стравливают селективно. Результат: проводящие слои образуются точно по контурам затворов и активных областей без дополнительного совмещения масок. Именно под эту схему подбирались приёмы предварительной аморфизации кремния для технологий с проектной нормой ниже 0,2 мкм.
Технические данные
- Молекулярный вес: 104,04; точная масса: 103,90200
- Внешний вид: серый порошок
- Плотность: 4,0 г/см3
- Плавление и кипение: 1540 °C
- Вода: нерастворим; плавиковая кислота: растворим
- PSA: 0; XLogP3: −0,76160
- Удельное сопротивление плёнок: около 16 мкОм·см
Безопасность и склад
Указание по опасности H228 — легковоспламеняющееся твёрдое вещество; доля 100 % по данным 6 компаний и 2 уведомлений в реестр C и L ECHA, сигнальное слово «Предупреждение». Перечень мер: P210, P240, P241, P261, P264, P271, P280, P302 + P352, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P312, P321, P332 + P313, P337 + P313, P362, P370 + P378, P403 + P233, P405, P501. Транспортировка: ООН 3178, категория опасности 4.1, уровень упаковки III. Номер RTECS XR2420000. Порошок хранят в плотно закрытой таре в сухом помещении, вдали от источников зажигания; при пересыпке заземляют оборудование. Развеска и подготовка шихты — в перчатках, защитных очках, под вытяжкой, при заметном пылении с респиратором.
Синонимы вещества: Силицид титана (TiSi2); Дисилицид титана; TII 07PB;TiSi2-O;153977-11-8;156840-87-8;156998-40-2;163530-48-1;259750-82-8;264124-86-9;341026-17-3;349655-32-9;361445-74-1;385835-48-3;390417-64-8;405234-65-3;803745-59-7;1622845-08-2;2119575-05-0;2219294-56-9;2468961-91-1
- Доставка продукта «Силицид титана (TiSi2)» осуществляется при заказе от 1 тонны. На самовывоз вы можете приобрести продукцию любого количества. На сроки поставки закладывается до 2-ух суток. При получении продукции нужно иметь доверенность, предварительно направив ее по электронной почте нашим менеджерам.
- Любой вид оплаты осуществляется согласно выставленному счёту. Первая поставка продукции осуществляется только по предоплате. Последующие поставки могут осуществляться по различным видам оплаты: предоплата, оплата по факту, а также отсрочка. После проведения оплаты наш менеджер перезванивает вам для подтверждения поступления средств на расчётный счёт.
Компания «НефтеХим-Инновации» осуществляет поставки продукта «Силицид титана (TiSi2)» в любые регионы России страны ближнего зарубежья.
Центральный федеральный округ (ЦФО), включает в себя: Белгородскую область, Брянскую область, Владимирскую область, Воронежскую область, Ивановскую область, Калужскую область, Костромскую область, Курскую область, Липецкую область, Москву, Московскую область, Орловскую область, Рязанскую область, Смоленскую область, Тамбовскую область, Тверскую область, Тульскую область, Ярославскую область.
Приволжский федеральный округ (ПФО): Республика Татарстан, Республика Башкортостан, Самарская область, Нижегородская область, Пермский край, Оренбургская область, Саратовская область , Удмуртская Республика, Пензенская область, Ульяновская область, Кировская область, Чувашская Республика, Республика Мордовия, Республика Марий Эл.
Ключевое направление деятельности – продажа нефтепродуктов и промышленной химии крупными, средними и мелкооптовыми партиями. Компания официально сотрудничает с ТОПовыми заводами и предприятиями России, что позволяет бесперебойно обеспечивать заказчиков продукцией высшего качества в любых объемах. Каждая партия реализуемого товара проходит лабораторный контроль на соответствие стандартам экологичности ГОСТ, ДСТУ и международным регламентам.
Мы поставляем своим клиентам только проверенную продукцию «Силицид титана (TiSi2)» с предприятий с мировым именем. Вся продукция сопровождается документацией, подтверждающей реализуемые составы.
Мы поставляем своим клиентам только проверенную продукцию «Силицид титана (TiSi2)» с предприятий с мировым именем. Вся продукция сопровождается документацией, подтверждающей реализуемые составы.
При самовывозе продукции с нашего склада необходимо связаться с сотрудниками нашей компании и согласовать дату приезда под загрузку. Заранее согласованная дата позволит Вам быстро забрать груз и избежать простоя машины под загрузкой.
Мешок, канистра, бочка, еврокуб, автоцистерна.
Доставка химической продукции осуществляется всеми видами транспорта по ПФО и ЦФО.
Срок и стоимость доставки продукции зависит от территориальной удаленности Покупателя от склада нашего предприятия.
На этот вопрос вам оперативно ответят наши менеджеры и логисты. Свяжитесь с ними по телефону из раздела «Контакты» или отправьте запрос на нашу почту info@himrusopt.ru.
На этот вопрос вам оперативно ответят наши менеджеры. Свяжитесь с ними по телефону из раздела «Контакты» или отправьте запрос на нашу почту info@himrusopt.ru.
Контейнеры для хранения солей следует регулярно проверять на наличие признаков коррозии, утечек или других повреждений. Если обнаружены повреждения или контейнер теряет герметичность, его нужно немедленно заменить, чтобы предотвратить контакт соли с окружающей средой и возможность химических реакций.
Большинство солей имеют длительный срок хранения, особенно если они защищены от влаги и хранятся в правильных условиях. Однако срок годности может сокращаться при воздействии высокой влажности, тепла и других неблагоприятных факторов, которые могут вызвать слеживание или химические изменения в составе соли.
Безопасные для окружающей среды соли обычно имеют низкую токсичность и легко растворяются в воде, не вызывая значительного вреда экосистемам. Более опасные соли могут быть токсичными для флоры и фауны, вызывать загрязнение почвы и воды. Всегда следует изучать характеристики вещества и следовать рекомендациям по его использованию и утилизации.
Основные риски связаны с возможным попаданием соли в воздух в виде пыли и реакцией с влагой. Для минимизации этих рисков соль должна транспортироваться в плотно закрытой таре, защищенной от влаги. Также важно обеспечить надлежащую маркировку груза и информирование перевозчика о возможных опасностях.
Использованная тара должна быть очищена от остатков соли и утилизирована в соответствии с местными правилами по обращению с химическими веществами. В некоторых случаях, тара может быть переработана после промывки и нейтрализации остатков.
В случае разлива или просыпания соли необходимо собрать её с помощью сухой щетки или лопаты, избегая поднятия пыли. Остатки следует тщательно удалить с поверхности, чтобы предотвратить скольжение и возможные реакции с другими веществами. Просыпанную соль нужно утилизировать в соответствии с местными нормами.
Соли следует хранить в герметично закрытой таре, защищенной от влаги, чтобы предотвратить слеживание и реакцию с водой. Хранение должно осуществляться в сухих, прохладных помещениях, вдали от источников тепла и прямого солнечного света. Также необходимо избегать хранения рядом с кислотами и окислителями.
При работе с солями необходимо использовать защитные перчатки и очки, чтобы предотвратить попадание веществ на кожу и в глаза. Важно работать в хорошо проветриваемом помещении, чтобы избежать вдыхания пыли, особенно если вещество может вызвать раздражение дыхательных путей.
