Назначение
TEMAT — прекурсор газофазного осаждения титановых плёнок. Ключевой продукт на его основе — нитрид титана, который в интегральных схемах служит диффузионным барьером и материалом электродов. Электронный класс чистоты (не менее 99,99 % по титану, марка PURATREM) рассчитан на полупроводниковое производство, где примеси металлов недопустимы.
Как работает прекурсор
Титан связан с четырьмя азотными лигандами. Связь Ti–N рвётся при контакте с протонными реагентами, поэтому в реакторе достаточно подать аммиак — и на поверхности вырастает нитрид титана, а органическая часть уходит с газом. При подаче окислителя вместо азотсодержащего реагента получается оксид титана. Кипение при 80 °C и 0,1 мм рт. ст. даёт достаточную летучесть, чтобы работать в паровой фазе, не доводя вещество до термического разложения.
Технические данные
- CAS № 308103-54-0; DSSTox DTXSID10403326
- Формула C12H32N4Ti; молекулярный вес 280,28; точная масса 280,2106377
- Плотность 0,923 г/мл при 25 °C (лит.)
- Кипение 80 °C при 0,1 мм рт. ст. (лит.)
- Обозначения: тетракис титана (этилметиламид), TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDE) TITANIUM, tetrakis(ethylmethylamido)titanium(iv)
- Квалификации: 99 %, 99+ %, электронный класс ≥ 99,99 %, PURATREM
Применение
- ALD и CVD нитрида титана: барьерные слои и электроды в микросхемах
- осаждение оксида титана
- металлизация интегральных схем — предотвращение диффузии металла в кремний
- источник титана в металлоорганическом синтезе
Опасности
Сигнальное слово «Опасность», H225 — легковоспламеняющаяся жидкость и пар, 100 % совпадения по данным 38 компаний и 1 уведомления в реестр C и L ECHA. Предписания: P210, P223, P231 + P232, P233, P240, P241, P242, P243, P260, P264, P280, P301 + P330 + P331, P303 + P361 + P353, P304 + P340, P305 + P351 + P338, P310, P321, P335 + P334, P363, P370 + P378, P402 + P404, P403 + P235, P405, P501. Метки F и C — горюч и разъедает. WGK Германия 3, код класса опасности 11-14-34, инструкции 16-26-36/37/39-43-45. Перевозка: ООН 3398, класс 4.3, группа упаковки I — высшая степень опасности среди веществ, выделяющих горючие газы при контакте с водой.
Правила обращения
Вода — главный запрет: тушение водой исключено, помещение и линии должны быть сухими, содержимое хранится под инертным газом. Склад прохладный, вентилируемый, без источников зажигания. Вскрытие тары, отбор и подключение к установке выполняют в перчаточном боксе либо на герметичной линии с продувкой аргоном. Инструкции 43 и 45 требуют заранее определить средства пожаротушения и при любом инциденте обращаться к врачу, предъявив паспорт безопасности.
Оговорка
В карточке продукта отдельное поле с указаниями H не заполнено. Приведённая классификация взята из блока «Классификация СГС» той же карточки.
Синонимы вещества: ТЕТРАКИС ТИТАНА (ЭТИЛМЕТИЛАМИД), 99+%; Тетракис (этилметиламидо) титана (IV) электронного класса, >=99,99%; ТИТАН TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDE);TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMINO)TITANIUM;tetrakis(ethylmethylamido)titanium(iv);tetrakis(ethylmethylamino)titanium(iv);TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMINO)TITANIUM , 99,9; ТЕТРАКИС (ЭТИЛМЕТИЛАМИНО)ТИТАН, 99% (99,99%-TI) ПУРАТРЕМ
- Доставка продукта «ТЕТРАКИС (ЭТИЛМЕТИЛАМИНО) ТИТАНА» осуществляется при заказе от 1 тонны. На самовывоз вы можете приобрести продукцию любого количества. На сроки поставки закладывается до 2-ух суток. При получении продукции нужно иметь доверенность, предварительно направив ее по электронной почте нашим менеджерам.
- Любой вид оплаты осуществляется согласно выставленному счёту. Первая поставка продукции осуществляется только по предоплате. Последующие поставки могут осуществляться по различным видам оплаты: предоплата, оплата по факту, а также отсрочка. После проведения оплаты наш менеджер перезванивает вам для подтверждения поступления средств на расчётный счёт.
Компания «НефтеХим-Инновации» осуществляет поставки продукта «ТЕТРАКИС (ЭТИЛМЕТИЛАМИНО) ТИТАНА» в любые регионы России страны ближнего зарубежья.
Центральный федеральный округ (ЦФО), включает в себя: Белгородскую область, Брянскую область, Владимирскую область, Воронежскую область, Ивановскую область, Калужскую область, Костромскую область, Курскую область, Липецкую область, Москву, Московскую область, Орловскую область, Рязанскую область, Смоленскую область, Тамбовскую область, Тверскую область, Тульскую область, Ярославскую область.
Приволжский федеральный округ (ПФО): Республика Татарстан, Республика Башкортостан, Самарская область, Нижегородская область, Пермский край, Оренбургская область, Саратовская область , Удмуртская Республика, Пензенская область, Ульяновская область, Кировская область, Чувашская Республика, Республика Мордовия, Республика Марий Эл.
Ключевое направление деятельности – продажа нефтепродуктов и промышленной химии крупными, средними и мелкооптовыми партиями. Компания официально сотрудничает с ТОПовыми заводами и предприятиями России, что позволяет бесперебойно обеспечивать заказчиков продукцией высшего качества в любых объемах. Каждая партия реализуемого товара проходит лабораторный контроль на соответствие стандартам экологичности ГОСТ, ДСТУ и международным регламентам.
Мы поставляем своим клиентам только проверенную продукцию «ТЕТРАКИС (ЭТИЛМЕТИЛАМИНО) ТИТАНА» с предприятий с мировым именем. Вся продукция сопровождается документацией, подтверждающей реализуемые составы.
Мы поставляем своим клиентам только проверенную продукцию «ТЕТРАКИС (ЭТИЛМЕТИЛАМИНО) ТИТАНА» с предприятий с мировым именем. Вся продукция сопровождается документацией, подтверждающей реализуемые составы.
При самовывозе продукции с нашего склада необходимо связаться с сотрудниками нашей компании и согласовать дату приезда под загрузку. Заранее согласованная дата позволит Вам быстро забрать груз и избежать простоя машины под загрузкой.
Мешок, канистра, бочка, еврокуб, автоцистерна.
Доставка химической продукции осуществляется всеми видами транспорта по ПФО и ЦФО.
Срок и стоимость доставки продукции зависит от территориальной удаленности Покупателя от склада нашего предприятия.
На этот вопрос вам оперативно ответят наши менеджеры и логисты. Свяжитесь с ними по телефону из раздела «Контакты» или отправьте запрос на нашу почту info@himrusopt.ru.
На этот вопрос вам оперативно ответят наши менеджеры. Свяжитесь с ними по телефону из раздела «Контакты» или отправьте запрос на нашу почту info@himrusopt.ru.
Неправильное смешение различных растворителей может привести к нежелательным химическим реакциям, выделению токсичных паров или даже к возгоранию. Например, смешивание растворителей с окислителями может быть особенно опасным. Всегда следует изучать совместимость растворителей перед их смешением и проводить подобные работы в хорошо проветриваемых помещениях.
Выбор растворителя зависит от химической природы вещества, которое необходимо растворить, а также от условий работы, таких как температура и требования безопасности. Например, уайт-спирит часто используется для разбавления масляных красок и лаков, а метиленхлорид применяется в производстве пластмасс и при удалении красок.
Вдыхание паров растворителей может вызвать отравление, головокружение, головную боль и раздражение дыхательных путей. Для минимизации рисков необходимо работать в хорошо проветриваемых помещениях, использовать респираторы при необходимости и избегать длительного контакта с парами.
Утилизация растворителей должна производиться в соответствии с местными экологическими требованиями. Нельзя сливать их в канализацию или водоемы. Отработанные растворители можно передавать на переработку или уничтожение на специализированных предприятиях. Также важно учитывать возможность повторного использования некоторых растворителей после их очистки.
В случае разлива растворителя необходимо немедленно обеспечить вентиляцию помещения, чтобы избежать накопления паров. Разлитое вещество следует собрать с помощью впитывающих материалов, таких как песок или специальные абсорбенты, и утилизировать согласно местным нормативам. Важно избегать попадания вещества в канализацию.
Растворители следует хранить в герметично закрытой таре, в прохладном, сухом месте, защищенном от прямого солнечного света и источников тепла. Не допускается хранение рядом с открытым огнем или легковоспламеняющимися материалами, так как многие растворители являются огнеопасными.
При работе с растворителями необходимо использовать защитные перчатки, очки и, при необходимости, респиратор для защиты от паров. Работать следует в хорошо проветриваемых помещениях или на открытом воздухе, чтобы избежать вдыхания токсичных паров, которые могут вызвать головокружение, тошноту или даже отравление.
